首先我們來看微波等離子體CVD法的技術原理：mpcvd設備運行原理是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場的作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應氣體的離化程度，直到達到輝光發(fā)電，產(chǎn)生更高密度的等離子體的產(chǎn)生。在反應過程中原料氣體電離化程度達到10%以上，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善。

通俗點來講：MPCVD方法就是先找一個鉆石作為基片，放在一個密封設備中，注入一些氫氣、氮氣、甲烷等，其中的碳元素會附著在鉆石上，原本的鉆石就會不斷長大。吃的是氣，長出的是鉆石！

其次，我們來看看MPCVD法的優(yōu)點：MPCVD法制備金剛石具有許多優(yōu)點，如反應過程中無電極，不會發(fā)生HFCVD 法中因金屬絲蒸發(fā)、游離到沉積的金剛石表面，而產(chǎn)生污染的問題；直流等離子噴射CVD法中，在電弧的產(chǎn)生過程中，點火和熄滅所引起的熱沖擊非常容易造成金剛石從基片表面脫落；微波激發(fā)的等離子體，其電離密度較高等，因此MPCVD法是眾多CVD 法中量產(chǎn)高質(zhì)量金剛石的**。