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2022-5-6MPCVD設(shè)備在沉積金剛石膜的工藝方面有什么共性？
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2022-5-6MPCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)基本組成有哪些？
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2022-5-6MPCVD法相比其他等離子cvd法有什么優(yōu)勢？
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2022-5-6為什么微波等離子體cvd法被認(rèn)為是最理想的沉積金剛石的方法？
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資訊動態(tài)
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等離子體協(xié)助ＣＶＤ有三種類型 ：
１）微波等離子體ＣＶＤ（ＭＰＣＶＤ，微波激發(fā)頻率通常為２．４５ＧＨｚ）；
２）ＲＦ等離子體ＣＶＤ（通常激發(fā)頻率是１３．５６ＭＨｚ）；
３）直流等離子體ＣＶＤ。
相對于其他方法，MPCVD法優(yōu)勢如下 ：
１）反應(yīng)器的簡單、靈活和商業(yè)可用 ；
２）微波非等溫等離子體的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，允許連續(xù)沉積數(shù)十小時或數(shù)百小時，并且樣品質(zhì)量可重現(xiàn)；
３）高能量效率（高等離子體密度和低鞘電勢），保障合理的成本；
４）具備生長大尺寸金剛石薄膜能力 ；
５）與其他ＣＶＤ技術(shù)（例 如２０００°Ｃ 的 ＨＦＣＶＤ）相比，沉積溫度相對較低，因此外延層和襯底之間的熱失配和所產(chǎn)生的應(yīng)力較小 。